empty basket
Ваша корзина пуста
Выберите в каталоге интересующий товар
и нажмите кнопку «В корзину».
Перейти в каталог
Заказать звонок
г. Москва, Волгоградский проспект, 42к42А
Пн-Пт: 10:00-19:00
Заказать звонок
Войти

Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (ХГО для осаждения SiС)

Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (ХГО для осаждения SiС)

Под заказ

/
НЕТ В НАЛИЧИИ
Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (ХГО для осаждения SiС)
НЕТ В НАЛИЧИИ
СРАВНИТЬ
В СРАВНЕНИИ
Надежная печь от мирового лидера вакуумных печей ACME.
Разработка и производство термических печей и комплексных линий для термической обработки по индивидуальным параметрам.
Характеристики
Под заказ Все спецификации могут быть скорректированы в соответствии с требованиями технологического процесса. Не являются критериями приемки. Подробная спецификация указывается индивидуально в техническом предложении.
Вид оборудования Осаждение
Рабочая среда Вакуум
Макс. температура, ℃ 1500
/


Под заказ

-
+
×
Выбрано максимальное количество, доступное для заказа
НЕТ В НАЛИЧИИ

Печь ХГО для осаждения SiС разработана для постобработки материалов с целью формирования устойчивой к коррозии защиты на верхнем слое углеродосодержащих составов для усиления характеристик подложки, используя трихлорсилан (ТХС) в роли газового источника.

Технологические спецификации агрегата

Печь, предназначенная для осаждения SiС из газовой фазы, создана с применением запатентованных инноваций, позволяющих прецизионно мониторить и регулировать интенсивность продвижения и давление ТХС. Процедура химического осаждения поддерживается в устойчивом режиме, а величина P может варьироваться в небольшом интервале.

Отдельный блок осаждения, укомплектованный антигрязевой защитой, абсолютно герметичен, а для переработки и отведения газов задействуется комплекс каналов, не содержащих застойных зон и отличающихся достойной эффективностью осаждения. Горизонтальный агрегат оборудован опцией очищения от агрессивных «хвостовых» газов, разрушающих структуру металлов, взрывчатых и легковоспламеняющихся соединений, плотных микрочастиц пыли и вязких веществ, появившихся в процессе осаждения.

Продвинутая конфигурация коррозионноустойчивых вакуумных насосов продлевает срок их службы и упрощает техобслуживание.

Габариты функционального модуля могут доходить до 2,5м×2,5м×5м, что идеально при необходимости CVD-обработки металлических изделий больших размеров. Дверь модуля фиксируется на петлях или устанавливается на раму, оснащенную колесной системой, и снабжается механизмом автоматического кольцевого либо ручного запирания.

Корпус рабочей зоны выполнен из нержавеющей или углеродистой стали. Камера покрыта графитовым/углеродным войлоком или CFC.

В комплект поставки включены: тележка, транспортирующая подлежащие обработке металлы, контроллер температуры, объемный и масс-расходомеры, вакуумный насос и вакуумметр, термопара C-, S-, K- или N-типа.

Специализированная промышленная печь, применяемая для выпуска высококачественного карборунда, востребована в металлургическом, машиностроительном, полупроводниковом и оптическом секторах.

Промышленное оборудование разрабатывается и производится в соответствии с параметрами заказчика. 

Макс. температура(℃) 1500
Предельный вакуум (Па) 1-100
Скорость увеличения давления (Па/ч) 0.67

Модели / параметры Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм) Однородность температуры (℃)
HCVD-060609-SIC Φ600 × 600 × 900 ±7.5
HCVD-101015-SIC Φ1000 × 1000 × 1500 ±7.5
HCVD-121220-SIC Φ1200 × 200 × 2000 ±10
HCVD-151530-SIC Φ1500 × 500 × 3000 ±10
HCVD-252035-SIC Φ2500 × 2000 × 3500 ±10
Вышеуказанные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте.

Под заказ
Все спецификации могут быть скорректированы в соответствии с требованиями технологического процесса. Не являются критериями приемки. Подробная спецификация указывается индивидуально в техническом предложении.
Вид оборудования
Осаждение
Рабочая среда
Вакуум
Макс. температура, ℃
1500
Acme

Основанная в 2006 году, компания АСМЕ(Advanced Corporation for Materials & Equipments) является «национальным ключевым высокотехнологичным предприятием», специализирующимся на разработке и производстве термического оборудования и специальных материалов, партнером в аэрокосмической промышленности Китая.

Термическое оборудование, разработанное компанией АСМЕ, широко используется для производства композитов на основе углерода / керамики, полупроводниковых материалов, вакуумной термообработки, вакуумной диффузионной сварки, порошковой металлургии, термолизе твердых отходов и во многих других областях.

В компании АСМЕ трудится более 800 человек, из них порядка 30% являются профессиональными техниками, сотрудниками послепродажного обслуживания, которые обеспечивают всестороннюю сервисную поддержку работы оборудования по всему миру. Мы имеем большой опыт производства крупногабаритного термического оборудования. Годовой объем производства более 200 комплектов оборудования.

АСМЕ поставляет оборудование на внутренний рынок и по всему миру, в Россию, США, Европу, Японию, Индию, Канаду, Новую Зеландию, Пакистан, Вьетнам, Южную Африку и другие страны.

 


С этим товаром покупают
Услуги
Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (ХГО для осаждения SiС)