Химическое осаждение из газовой фазы (ХГО) – универсальный, рентабельный метод молекулярного формирования покрывающих пленок путем контролируемого осаждения требуемых веществ. Установка для химосаждения углерода (C) разработана для обработки металлов посредством термодинамических изопроцессов, производимых при стабильной температуре. Технология применяется для получения высокочистых твердых составов и востребована в полупроводниковой промышленности для изготовления тонких пленок.
Оборудование, предназначенное для постобработки материалов путем химического осаждения C из газовой фазы, состоит из нескольких зон нагрева, обеспечивающих качественную однородность распределения температуры. Корпус агрегата либо полностью выполнен из углеродистой или нержавеющей стали, либо применялось сочетание этих видов металлов. Муфель и нагревательный элемент изготовлены из высокопрочного прессованного графита.
Специализированный модуль осаждения отличается безукоризненной герметичностью и защищен от загрязнений. Чтобы убрать из рабочей зоны пыль, остатки смол и золы, предусмотрена специальная опция удаления микрочастиц синтетических веществ и органики, образующихся по ходу процедуры осаждения.
Для осаждения газа предусмотрены особые каналы, не содержащие застойных зон и гарантирующие лучшую продуктивность аппарата.
Двери конструкции поднимаются с помощью винтового либо гидравлического привода, а запираются вручную или посредством автоматического кольцевого запорного механизма.
В комплектацию системы включены: весовой и объемный расходомеры, контроллер температуры, вакуумный насос, вакуумметр, ручной либо автоматизированный клапан.
Вертикальная печь осаждения из газовой фазы углерода используется при обработке металлических изделий посредством нанесения пленок, равномерно покрывающих доступную поверхность подложки и обладающих требуемыми характеристиками (заданной толщиной, плотностью, составом и т.п.).
Промышленное оборудование разрабатывается и производится в соответствии с параметрами заказчика.
Макс. температура(℃) | 1500 |
Однородность температуры (°C) | ±5/±10 |
Предельный вакуум (Па) | 1-100 |
Скорость увеличения давления (Па/ч) | 0.67 |
Модели / параметры | Размер рабочей зоны Д×В (мм) |
VCVD-0305-C | Φ300 × 500 |
VCVD-0608-C | Φ600 × 800 |
VCVD-0812-C | Φ800 × 1200 |
VCVD-1120-C | Φ1100 × 2000 |
VCVD-1320-C | Φ1300 × 2000 |
VCVD-1520-C | Φ1500 × 2000 |
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте. |
Модели / параметры | Размер рабочей зоны Д×В (мм) |
VCVD-1822-C | Φ1800 × 2200 |
VCVD-2032-C | Φ2000 × 3200 |
VCVD-2632-C | Φ2600 × 3200 |
VCVD-3338-C | Φ3300 × 3800 |
VCVD-3344-C | Φ3300 × 4400 |
Данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте. |
Основанная в 2006 году, компания АСМЕ(Advanced Corporation for Materials & Equipments) является «национальным ключевым высокотехнологичным предприятием», специализирующимся на разработке и производстве термического оборудования и специальных материалов, партнером в аэрокосмической промышленности Китая.
Термическое оборудование, разработанное компанией АСМЕ, широко используется для производства композитов на основе углерода / керамики, полупроводниковых материалов, вакуумной термообработки, вакуумной диффузионной сварки, порошковой металлургии, термолизе твердых отходов и во многих других областях.
В компании АСМЕ трудится более 800 человек, из них порядка 30% являются профессиональными техниками, сотрудниками послепродажного обслуживания, которые обеспечивают всестороннюю сервисную поддержку работы оборудования по всему миру. Мы имеем большой опыт производства крупногабаритного термического оборудования. Годовой объем производства более 200 комплектов оборудования.
АСМЕ поставляет оборудование на внутренний рынок и по всему миру, в Россию, США, Европу, Японию, Индию, Канаду, Новую Зеландию, Пакистан, Вьетнам, Южную Африку и другие страны.